第九六六章 技术难题包干到人 (第1/2页)
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bsec换到了krf准分子激光器和800nm制程工艺的专利技术，还不能生产1um制程工艺的光刻机。
晶圆上面还有5英寸、6英寸和8英寸，制程工艺还有1um�
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